安晟RTP紅外燈管加熱管式爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得較快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。 可選擇單設定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結構，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高，處于國內*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。
安晟RTP紅外燈管加熱管式爐適用范圍：可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
| 爐體結構 | 雙層鑄鋼外殼 |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100℃（可選擇） |
| 建議升溫速率 | 300℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱區(qū)長度 | 200mm |
| 爐管直徑 | OD100 |
| 爐管材質 | 石英管 |
| 加熱元件 | 紅外燈管加熱 |
| 密封裝置 | 真空法蘭 |
| 熱電偶類型 | K型 |
| 溫區(qū)數(shù) | 單溫區(qū) |
| 功率 | 18KW |
| 電源電壓 | AC380V 50HZ 可根據(jù)要求定做 |
| 溫控 | PID智能控溫 |
| 加熱曲線 | 30段可編程 |
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