| 應(yīng)用范圍： | *半導(dǎo)體(Semiconductor) *微機(jī)電(MEMS) *被動(dòng)組件(Passive Component) *觸控面板(Touch Panel) *顯示器(Display Panel) *發(fā)光二極管(LED) |
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| 規(guī)格： | *Exposure light source: 350W、500W、1KW、2KW *Substrate Size 2"、4"、6"、8"、10"、12"-up to 24" *Uniformity: > ±3% and <±5% *Alignment Accuracy: ± 1um *Throughput:≧65 wph |
| 優(yōu)點(diǎn)： | 平整校正機(jī)構(gòu)/高精度、人性化操作界面、依制程需求模組客制化。 |
| 可選配雙面對(duì)準(zhǔn)制程： | Back Side IR（紅外光對(duì)準(zhǔn)）/ Bacj Side Visible（背面CCD/顯微鏡對(duì)準(zhǔn)）。 |
平整校正機(jī)構(gòu)/高精度/人性化操作接口，可依制程需求模塊客制化。另可選配雙面對(duì)準(zhǔn)制程：紅外光對(duì)準(zhǔn)與背面CCD/顯微鏡對(duì)準(zhǔn)。
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