| 適用尺寸： | 破片 ~ 6"Wafer基材。 |
|---|---|
| 外觀材質(zhì)： | PP 板組合焊接而成，可以耐酸堿侵蝕。 |
| 吸盤為分離式 | |
| 作程序： | 感光液涂布?段控制轉(zhuǎn)速?第二段控制轉(zhuǎn)速 |
| 操作盆罩： | SUS制，圓盆型設計。 |
| 入料方式： | 手動給料，中間開孔并加遮蓋 |
| 旋轉(zhuǎn)馬達： | DC 馬達 |
| 吸盤規(guī)格： | 一組鋁制吸盤精密研模陽極保護。 |
| 轉(zhuǎn)速： | 300 ~ 8000 rpm±10rpm。 |
| 回轉(zhuǎn)時間設定: | 0.1- 999 sec (LED 直接顯示) 可設定秒及分之切換 |
針對不同類型的光阻劑，提高均勻、精確和重復性高的涂膠結(jié)果。
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