筱曉光子 λ/1000 D7系列超高精度激光干涉儀 Difrotec
總覽
愛沙尼亞Difrotec公司的激光干涉儀是市場上高精度干涉儀的產(chǎn)品，測量精度可達(dá)0.6nm(λ/1000). 其產(chǎn)品D7激光干涉儀采用點衍射技術(shù)，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）檢測及透射波檢測。Difrotec在光學(xué)測試域有多項紀(jì)錄。
工作波長
632.8nm 數(shù)值孔徑
0.55 技術(shù)參數(shù)
● 峰谷精度：±0.6nm（λ/1000）
● 峰谷分辨率：0.05 nm（λ/12000）
● 波均方根重復(fù)性：<0.23nm（λ/2800）
● 簡單均方根重復(fù)性：<0.06 nm（λ/10500）
● 激光類型和波長：穩(wěn)定He-Ne，632.8nm
● 數(shù)值孔徑 NA:0.55（f 0.91）
● 數(shù)據(jù)采集：相移干涉法（psi）
更新時間：2023/5/24 17:35:26
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