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產(chǎn)品型號(hào)

SKCC-TFB-X（高真空條形方靶）

產(chǎn)品規(guī)格

SKCC-TFB-X：

X代表方靶的“長X寬”尺寸，例如：

方靶尺寸：300X70(mm)，則名稱為：SKCC-TFB-300x75

700X90(mm)，SKCC-TFB-700x90

1000X120(mm)，SKCC-TFB-1000x120

方靶尺寸范圍：

長：220-2000，寬：75-150  單位：mm

其它尺寸可以根據(jù)客戶要求訂制：

主要特點(diǎn)

1、采用電磁場的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布；

2、條形方靶采用特殊結(jié)構(gòu)（大型條形方靶經(jīng)過生產(chǎn)線檢驗(yàn)），可保證長期工作；

4、標(biāo)準(zhǔn)的接頭，大型與DC匹配,小型既可以與DC電源匹配也可以與RF電源相匹配；

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭（CF金屬密封或Dg膠圈密封可選）；

6、靶材更換較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC；2、射頻RF