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產(chǎn)品型號(hào)

SKCC-GZB-X（高真空磁控濺射公、自旋轉(zhuǎn)靶頭）

產(chǎn)品規(guī)格

1寸，SKCC-GZB-1

2寸，SKCC-GZB-2

3寸，SKCC-GZB-3

4寸，SKCC-GZB-4

注：其它尺寸可以訂制

主要特點(diǎn)

1、轉(zhuǎn)靶帶擋板（可實(shí)現(xiàn)每次露出一個(gè)工作的靶，避免交叉污染）；

2、采用電磁場的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布；

3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào)；

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配；

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭（CF金屬密封或Dg膠圈密封可選）；

6、靶材更換較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC；2、射頻RF