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產(chǎn)品型號(hào)

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。

5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源：AC 220V   50Hz/60Hz

2、石英管：外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø75mm，長1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區(qū)域：440mm

5、恒溫區(qū)域：150mm

6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃

7、升降溫速率：20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、熱電偶：K型

高真空機(jī)組

1、殼體：600mm×600mm×700mm，承重275kg

2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵

3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示

4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr

6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz

2、功率：18W

3、尺寸：600mm×600mm×700mm

4、混氣箱：Ø80mm×120mm