產(chǎn)品簡介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時反饋測量物性數(shù)據(jù)。
| 產(chǎn)品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、自動化程度：固定變角 2、應(yīng)用定位：原位定制型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光譜 4、分析光譜：380-1000nm，支持按需定制化 5、單次測量時間：0.5-5s 6、重復(fù)性測量精度：0.01nm 7、入射角范圍：65°（支持定制） |
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