日本進(jìn)口山本渡金晶圓電鍍?cè)O(shè)備A-52-ST-P01A硅片水箱
尺寸(內(nèi)部尺寸)/容量 | 模型 | 尺寸(內(nèi)部尺寸) | 水箱容量 |
2英寸 | 100(深)×100(寬)×100(高)毫米 | 約1.5L | |
4英寸 | 140(深)×140(寬)×140(高)毫米 | 約4.0L | |
5英寸 | 160(深)×160(寬)×160(高)毫米 | 約7.5L | |
6寸 | 210(深)×210(寬)×210(高)毫米 | 約13L | |
8英寸 | 280(深)×280(寬)×280(高)毫米 | 約28L | |
水箱材質(zhì) | 丙烯酸纖維 | ||
耐熱溫度 | 65℃ |
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