等離子體是部分離化的中性氣體，在等離子體中自由電子與中性分子，原子進(jìn)行碰撞，通過碰撞電離，進(jìn)一步得到更多的電子和離子?；陔娮拥哪芰?，可以獲得更豐富的離子，激發(fā)態(tài)高能中性粒子等，同時由于電子吸附在中性氣體表面還可獲得負(fù)離子?？涛g方法在塑料印刷和粘合時作為預(yù)處理手段是十分重要的，等離子蝕刻機(jī)用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況。
等離子蝕刻機(jī)的原理：等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。等離子與材料表面可產(chǎn)生的反應(yīng)主要有兩種，一種是靠自由基來做化學(xué)反應(yīng)，另一種則是靠等離子作物理反應(yīng)。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
等離子蝕刻機(jī)的應(yīng)用：由于每種氣體在原子分子物理學(xué)中有各自的能級結(jié)構(gòu)，故高能電子可以將氣體激發(fā)到不同的能級上，當(dāng)氣體分子、原子從高能級向低能級回遷時將會輻射出不同能量的光子，不同能量的光子代表了不同的波長，通過分析光譜我們可以有效地分析等離子體的刻蝕過程。該分析診斷過程常被用于半導(dǎo)體制造中的EDP監(jiān)測。蝕刻機(jī)可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。不會對人員的身體造成任何傷害。
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