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等離子體發(fā)生器應(yīng)用產(chǎn)生等離子體氣源有︰空氣、O2、AR、氬氫混合氣體、四氟化碳：
        在通過(guò)等離子體發(fā)生器清洗物體前先要對(duì)清洗的物體和臟物深入分析，再進(jìn)行氣體的選裝。等離子表面處理機(jī)中氣體通入一般來(lái)說(shuō)有兩個(gè)目的，依據(jù)等離子的作用原理可將選裝氣體分為兩類，一類是H2和O2等反應(yīng)性氣體，這其中H2主要適用于清洗金屬表面的氧化物，發(fā)生還原反應(yīng)。等離子體發(fā)生器通O2主要適用于清洗物體表面的物質(zhì)，發(fā)生氧化反應(yīng)。清洗和刻蝕︰例如，在進(jìn)行清洗時(shí)，工作氣體往往用O2，它被加速了的電子轟擊成氧離子、自由基后，氧化性。工件表面的污染物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、沖床油等，很快就會(huì)被氧化成CO2和H2O，而被真空泵抽走，從而達(dá)到清潔表面，改善浸潤(rùn)性和粘結(jié)性的目的。低溫等離子處理僅涉及材料的表面，不會(huì)對(duì)材料主體的性質(zhì)產(chǎn)生影響。由于等離子體發(fā)生器清洗是在高真空下進(jìn)行的，所以等離子體中的各種活性離子的自由程很長(zhǎng)，他們的穿透和滲透力很強(qiáng)，可以進(jìn)行復(fù)雜結(jié)構(gòu)的處理，包括細(xì)管和盲孔。
       另一類是等離子體發(fā)生器通AR、He和N2等非反應(yīng)性氣體，真空N2等離子體發(fā)生器能提高材料的硬度和耐磨性。氬氣和氦氣性質(zhì)穩(wěn)定，并且放電電壓低(ar原子的電離能E為15.57eV)易形成亞穩(wěn)態(tài)的原子，一方面等離子體發(fā)生器利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或還原的物件，Ar+轟擊臟物形成揮發(fā)性臟物被真空泵抽走，避免了表面材料發(fā)生反應(yīng);另一方面利用AR易形成亞穩(wěn)態(tài)的原子，再與O2/H2分子碰撞時(shí)發(fā)生電荷的轉(zhuǎn)換和再結(jié)合，形成氧氫活性原子作用于物體表面。
       引入官能基團(tuán)∶用于高分子材料N2.NH3.02.SO2等氣體的等離子體處理可以改變表面的化學(xué)成分，引入相應(yīng)的新官能基∶-NH2.-OH.-COOH.-SO3H等。這些官能團(tuán)可使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等這些惰性的基材變成官能團(tuán)材料，可以提高表面極性，浸潤(rùn)性，可粘結(jié)性，反應(yīng)性，極大地提高了其使用價(jià)值。與氧等離子體相反，而經(jīng)含氟氣體的等離子體發(fā)生器處理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。