質(zhì)譜技術(shù)用來(lái)檢測(cè)和分離同位素，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期不斷完善，現(xiàn)已成為一種具有優(yōu)勢(shì)的分析技術(shù)。由于其具有高精度及高靈敏度的優(yōu)點(diǎn)，作為檢測(cè)和分析的主要手段已被廣泛應(yīng)用于多種領(lǐng)域。殘余氣體檢測(cè)質(zhì)譜儀分別以空氣、空氣/氬氣混合氣體為樣品，研究了質(zhì)譜儀的進(jìn)樣輸運(yùn)效應(yīng)。利用空氣/氬氣混合氣體作為標(biāo)準(zhǔn)樣品，進(jìn)行了質(zhì)譜峰強(qiáng)對(duì)濃度的標(biāo)定，獲得了分析儀對(duì)殘余空氣定量分析的標(biāo)定關(guān)系。研究發(fā)現(xiàn)：由于輸運(yùn)過(guò)程，注入樣品由于不同成分的輸運(yùn)速率、排空速率不同，樣品不同成分在質(zhì)譜儀內(nèi)的量與其原始物質(zhì)的量有所不同。
在低溫等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中會(huì)生成多種中間和最終產(chǎn)物，殘余氣體檢測(cè)質(zhì)譜儀是識(shí)別和分析這些復(fù)雜物質(zhì)成分的有效工具。分析新生物種及其反應(yīng)機(jī)理，不僅需要定性識(shí)別，更需要定量分析，因此探索利用質(zhì)譜儀實(shí)現(xiàn)等離子體化學(xué)反應(yīng)體系成分的定量診斷技術(shù)具有廣闊的應(yīng)用前景。質(zhì)譜分析儀配置有復(fù)雜的腔體結(jié)構(gòu)、超高真空機(jī)組以及樣品注入和輸運(yùn)通道，因此氣體樣品需經(jīng)歷緩慢的輸運(yùn)過(guò)程，才能在分析儀腔體內(nèi)穩(wěn)定分布。從氣體樣品注入到穩(wěn)定分布的歷程中，不同時(shí)刻的質(zhì)譜分布不斷演變，此即進(jìn)樣輸運(yùn)過(guò)程。在輸運(yùn)過(guò)程的不同階段，掌握質(zhì)譜峰相對(duì)強(qiáng)度的演變規(guī)律是實(shí)現(xiàn)氣體成分定量分析的關(guān)鍵。
殘余氣體檢測(cè)質(zhì)譜儀結(jié)構(gòu)緊湊，堅(jiān)固耐用，采用適用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)和野外使用的堅(jiān)固的儀器外殼，整體重量小。優(yōu)異的靈敏度和測(cè)量精度，使其特別適用于特定無(wú)機(jī)化合物和有機(jī)化合物(VOC)的動(dòng)態(tài)在線檢測(cè)，使得現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)具備了實(shí)驗(yàn)室分析的水平。配備N(xiāo)IST標(biāo)準(zhǔn)譜庫(kù)后，能夠?qū)ξ粗獦悠愤M(jìn)行定性識(shí)別和定量分析。一臺(tái)儀器匹配不同的采樣裝置，即可滿(mǎn)足大部分日常測(cè)試應(yīng)用的需求。功能強(qiáng)大的分析軟件可以快速收集數(shù)據(jù)，在精確快速定量顯示實(shí)時(shí)濃度變化趨勢(shì)的同時(shí)，還能夠顯示完整質(zhì)譜圖，實(shí)現(xiàn)定性分析。
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