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一、按三坐標測量機的技術(shù)水平分類
    1．數(shù)字顯示及打印型：這類坐標測量機主要用于幾何尺寸測量，可顯示并打印出測得點的坐標數(shù)據(jù)，但要獲得所需的幾何尺寸形位誤差，還需進行人工運算，其技術(shù)水平較低，目前已基本被陶汰。
    2．帶有計算機進行數(shù)據(jù)處理型：這類坐標測量機技術(shù)水平略高，目前應用較多。其測量仍為手動或機動，但用計算機處理測量數(shù)據(jù)，可完成諸如工件安裝傾斜的自動校正計算、坐標變換、孔心距計算、偏差值計算等數(shù)據(jù)處理工作。
    3．計算機數(shù)字控制型：這類坐標測量機技術(shù)水平較高，可像數(shù)控機床一樣，按照編制好的程序自動測量。
二、按三坐標測量機的測量范圍分類
    1．小型坐標測量機：這類坐標測量機在其較長一個坐標軸方向（一般為X軸方向）上的測量范圍小于500mm，主要用于小型精密模具、工具和刀具等的測量。
    2．中型坐標測量機：這類坐標測量機在其較長一個坐標軸方向上的測量范圍為500～2000mm，是應用較多的機型，主要用于箱體、模具類零件的測量。
    3．大型坐標測量機：這類坐標測量機在其較長一個坐標軸方向上的測量范圍大于2000mm，主要用于汽車與發(fā)動機外殼、航空發(fā)動機葉片等大型零件的測量。
三、按三坐標測量機的精度分類
    1．精密型坐標測量機 其單軸較大測量不確定度小于1×10－6L（L為大量程，單位為mm），空間測量不確定度小于（2～3）×10－6L，一般放在具有恒溫條件的計量室內(nèi)，用于精密測量。
    2．中、低精度坐標測量機 低精度坐標測量機的單軸測量不確定度大體在1×10－4L左右，空間測量不確定度為（2～3）×10－4L，中等精度坐標測量機的單軸測量不確定度約為1×10－5L，空間測量不確定度為（2～3）×10－5L。這類坐標測量機一般放在生產(chǎn)車間內(nèi)，用于生產(chǎn)過程檢測。
四、按三坐標測量機的結(jié)構(gòu)形式分類
    按照結(jié)構(gòu)形式，三坐標測量機可分為移動橋式三坐標測量機、固定橋式三坐標測量機、龍門式三坐標測量機、懸臂式三坐標測量機、立柱式三坐標測量機等。
    1.移動橋式結(jié)構(gòu)，它是目前應用廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式，其結(jié)構(gòu)簡單，敞開性好，工件安裝在固定工作臺上，承載能力強。但這種結(jié)構(gòu)的X向驅(qū)動位于橋框一側(cè)，橋框移動時易產(chǎn)生繞Z軸偏擺，而該結(jié)構(gòu)的X向標尺也位于橋框一側(cè)，在Y向存在較大的阿貝臂，這種偏擺會引起較大的阿貝誤差，因而該結(jié)構(gòu)主要用于中等精度的中小機型。
    2.固定橋式結(jié)構(gòu)，其橋框固定不動，X向標尺和驅(qū)動機構(gòu)可安裝在工作臺下方中部，阿貝臂及工作臺繞Z軸偏擺小，其主要部件的運動穩(wěn)定性好，運動誤差小，適用于高精度測量，但工作臺負載能力小，結(jié)構(gòu)敞開性不好，主要用于高精度的中小機型。
    3.龍門式結(jié)構(gòu)，它與移動橋式結(jié)構(gòu)的主要區(qū)別是它的移動部分只是橫梁，移動部分質(zhì)量小，整個結(jié)構(gòu)剛性好，三個坐標測量范圍較大時也可保證測量精度，適用于大機型，缺點是立柱限制了工件裝卸，單側(cè)驅(qū)動時仍會帶來較大的阿貝誤差，而雙側(cè)驅(qū)動方式在技術(shù)上較為復雜，只有Y向跨距很大、對精度要求較高的大型測量機才采用懸臂式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，具有很好的敞開性，但當滑架在懸臂上作Y向運動時，會使懸臂的變形發(fā)生變化，故測量精度不高，一般用于測量精度要求不太高的小型測量機。