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    三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、量具和量規(guī)均具有檢測(cè)幾何尺寸的功能，但各自具有不同的特點(diǎn)：
    三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是在三維直角坐標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)測(cè)量長(zhǎng)度的儀器。通常配有計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和控制操作。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是測(cè)量和獲得尺寸數(shù)據(jù)的有效的方法之一，因?yàn)樗梢源娑喾N表面測(cè)量工具及昂貴的組合量規(guī)，并快速準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)尺寸數(shù)據(jù)，為操作者提供關(guān)于生產(chǎn)過程狀況的有用信息，這與所有的手動(dòng)測(cè)量設(shè)備有很大的區(qū)別。
    量具：量具是測(cè)量零件的尺寸、角度、形狀精度和相互位置精度等所用的測(cè)量工具。量具是實(shí)物量具的簡(jiǎn)稱，它是一種在使用時(shí)具有固定形態(tài)、用以復(fù)現(xiàn)或提供給定量的一個(gè)或多個(gè)已知量值的器具。例如砝碼、標(biāo)準(zhǔn)電池、色溫?zé)?、電阻器、量塊、信號(hào)發(fā)生器以及(單值或多值的、帶或不帶標(biāo)尺的)量器等都是量具。常用量具包括:游標(biāo)卡尺、千分尺以及百分表等。
    量規(guī)：量規(guī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通常為具有準(zhǔn)確尺寸和形狀的實(shí)體，如圓錐體、圓柱體、塊體平板、尺和螺紋件等。常用的量規(guī)有量塊、角度量塊、多面棱體、正弦規(guī)、直尺、平尺、平板、塞尺 、平晶和極規(guī)等 。用量規(guī)檢驗(yàn)工件通常有通止法、著色法、光隙法和指示表法。其中利用通止法檢驗(yàn)的量規(guī)稱為極規(guī)（如卡規(guī)、光滑塞規(guī)、螺紋塞規(guī)、螺紋環(huán)規(guī)等）。