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    三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是是指在三維可測(cè)的空間范圍內(nèi)，根據(jù)測(cè)頭系統(tǒng)返回的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過(guò)三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計(jì)算各類(lèi)幾何形狀、尺寸等測(cè)量能力的儀器，是一種通用性強(qiáng)、自動(dòng)化程度高 的高精度測(cè)量系統(tǒng)。對(duì)一般的測(cè)量軟件而言，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量過(guò)程，可分為以下幾個(gè)步驟（假設(shè)測(cè)頭校驗(yàn)與坐標(biāo)系的建立已經(jīng)完成）。
（１）采集特征點(diǎn)的坐標(biāo)位置。即通過(guò)測(cè)頭直接觸測(cè)被測(cè)對(duì)象、 讀取并記錄坐標(biāo)值。
（２）按照“小條件”對(duì)前面測(cè)得的特征點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算與構(gòu)建。如果是形狀誤差，可直接計(jì)算出誤差值。
（３）如果是位置誤差則按照“小條件”將特征點(diǎn)構(gòu)建出誤差評(píng)價(jià)所需的點(diǎn)、線(xiàn)、面等基本要素，并用數(shù)學(xué)的方法計(jì)算出各要素間的實(shí)際誤差，對(duì)照?qǐng)D紙判斷其是否合格。
    在這一過(guò)程中，特征點(diǎn)的采集是后續(xù)工作的基礎(chǔ)，如果有誤，構(gòu)建出的特征要素就不能真實(shí)的反映出零件的實(shí)際情況，誤差計(jì)算與評(píng)價(jià)的結(jié)果也就不可信了。
    從上可以看出，特征點(diǎn)的位置、特征點(diǎn)的數(shù)量和采集方式對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量結(jié)果有著非常重要的影響。