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在實(shí)驗(yàn)工作中，我們獲得了一組的程序來(lái)運(yùn)行系統(tǒng)。 s *首先，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)處理。郎首先用干燥的氮?dú)鉀_洗系統(tǒng)，然后進(jìn)行低真空浸泡。系統(tǒng)烘烤溫度為約250℃，時(shí)間為約36h。在整個(gè)系統(tǒng)烘焙過(guò)程中，啟動(dòng)主擴(kuò)散泵上的氟利昂擋板，并對(duì)升華鈦泵和測(cè)量?jī)x進(jìn)行脫氣。在烘烤過(guò)程中，當(dāng)系統(tǒng)壓力降至10 ^ -4Pa時(shí)，鈦泵和調(diào)節(jié)器會(huì)間歇性脫氣，直到系統(tǒng)冷卻。當(dāng)泵系統(tǒng)的壓力降至10 ^ -9Pa時(shí)，脫氣停止。系統(tǒng)的冷凍過(guò)程必須根據(jù)從高壓到低壓的過(guò)程進(jìn)行，并且在z *之后將的真空室冷凍。在冷凍過(guò)程中，應(yīng)注意防止冷漏的發(fā)生。首先應(yīng)啟動(dòng)冷凍的鈦升華阱，然后啟動(dòng)冷凍的鈦升華泵，以形成分子沉降環(huán)境。兩者的加熱功率分別為1400W和600W。每個(gè)工作時(shí)間為10分鐘。工作大約3mdash，4倍就足夠了。應(yīng)注意消除鈦蒸發(fā)過(guò)程中鈦膜脫附的甲烷氣體，否則不易獲得較低的壓力。