外延技術制備真空半導體薄膜
2025年05月06日 10:02:45
來源：萬得勒（廈門）機械設備有限公司 >> 進入該公司展臺
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外延技術是制備納米半導體薄膜的新技術。利用這種技術，可以制備具有相同的晶體取向和襯底以及完整的字符結構的納米半導體單晶薄膜。典型的外延技術包括氣相外延（VPE），液相外延（LPE）和分子束外延（MBE）。近年來，諸如金屬有機氣相外延（MOCPE），等離子體輔助外延（IV正），原子層外延（ALE），選擇性區(qū)域外延（SAE）和金屬有機分子束外延等技術，或化學束外延技術（CBE）已經應用于納米技術。半導體薄膜的制備越來越受到關注。
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