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在Pascal系列中，抽氣速度在5至21m3middot（h-1）之間的旋片式真空泵具有內(nèi)置的交流或直流電動(dòng)機(jī)。入口和出口法蘭可以垂直或水平結(jié)合，也可以連接附件。除標(biāo)準(zhǔn)范圍外，I系列還提供強(qiáng)制潤(rùn)滑和兩種不同腐蝕性氣體。 SD系列設(shè)計(jì)用于非腐蝕性氣體。天然潤(rùn)滑（泵送速度為21m3middot，h-1）。在長(zhǎng)期運(yùn)行期間，泵的低溫可將z *最終壓力下的回流降低到z *低。就像其他泵的抽速為21m3middot（h-1）一樣，無(wú)需拆開(kāi)泵體就可以接近泵軸密封件，因此現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)非常容易。 I系列I系列泵配有強(qiáng)制潤(rùn)滑。與SD系列相比，這提高了耐水蒸氣性。強(qiáng)制潤(rùn)滑可使I系列達(dá)到極低的噪音水平和低振動(dòng)。由于C1系列FPM密封件和鍍鉻軸以及外殼，葉片，套筒和觀察鏡使用的特殊材料，C1系列的強(qiáng)制潤(rùn)滑泵特別適合腐蝕性氣體應(yīng)用。該系列的兩個(gè)z *大型型號(hào)還集成了機(jī)油濾清器和機(jī)油箱沖洗裝置。 C1系列裝有礦物油。 C2系列C2系列泵還配備了強(qiáng)制潤(rùn)滑。這些泵在使用防腐氣體設(shè)備，帶軸承潤(rùn)滑的泵，用于對(duì)工作流體進(jìn)行脫氣的中性氣體沖洗設(shè)備以及特殊葉片材料方面優(yōu)于C1系列。該系列的兩個(gè)z *大型型號(hào)還配備了機(jī)油壓力傳感器和機(jī)油溫度傳感器的連接。借助這種防腐氣體設(shè)備，PascalC2泵特別適合在半導(dǎo)體制造中使用蝕刻和涂層工藝。 C2系列配備了全氟化工作液。