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擴(kuò)散泵多少錢(qián)本章描述的多級(jí)羅茨泵屬于ACP范圍(阿迪克森清潔泵)在一個(gè)泵中,兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子(1)在單個(gè)殼體中非接觸旋轉(zhuǎn)(圖4.9)。該轉(zhuǎn)子具有8字形結(jié)構(gòu),且相互之間由窄間隙分離開(kāi)來(lái)。有四到六對(duì)轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個(gè)轉(zhuǎn)子腔通過(guò)帶有噴氣口的定子盤(pán)與其他轉(zhuǎn)子分離開(kāi)來(lái)。輸送的氣體從入口(3)被抽到出口(4)、一個(gè)軸由電機(jī)(5)驅(qū)動(dòng)。另一軸通過(guò)齒輪箱中的正時(shí)齒輪(6)同步進(jìn)行。潤(rùn)滑于齒輪箱和封裝的低壓和高承(9),其與吸入室(7)通過(guò)軸封(8)密封開(kāi)來(lái)。風(fēng)冷式多級(jí)羅茨泵的工作原理由于吸入室中無(wú)摩擦,羅茨真空泵可在高達(dá)6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線(xiàn)對(duì)稱(chēng)分布還產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)平衡,這意味著,盡管其轉(zhuǎn)速很高,泵的運(yùn)行卻極為安靜。。
擴(kuò)散泵價(jià)格這使得可連接適當(dāng)?shù)臏囟葌鞲衅骱蛪毫鞲衅鳎糜诒O(jiān)測(cè)泵密封氣體連接當(dāng)抽吸溶劑或反應(yīng)性氣體時(shí),存在潤(rùn)滑劑因冷凝而顯著變稀的風(fēng)險(xiǎn)。反應(yīng)性氣體也可侵蝕齒輪室的部件。通過(guò)允許密封氣體進(jìn)入工作空間與齒輪室之間的穿心軸區(qū)域可避免大部分風(fēng)險(xiǎn)。惰性氣體,主要是氮?dú)猓∟2)用作密封氣體。齒輪室排空裝置在羅茨真空泵站必須在短周期時(shí)間(快速抽空)內(nèi)達(dá)到一定壓力的所有工藝情況下,通過(guò)油分離器在每個(gè)齒輪室內(nèi)以獨(dú)立真空泵的方式抽空羅茨泵的齒輪室是可行的。這防止氣體從齒輪室流出并流入吸入室,從而能夠更快地達(dá)到所需工作壓力。所需工作壓力將決定是否可將齒輪室連接至羅茨泵的前級(jí)真空側(cè)。沖洗裝置沖洗裝置可用于在吸入室有沉積物形成的過(guò)程。該裝置的設(shè)計(jì)可根據(jù)具體要求與客戶(hù)進(jìn)行單獨(dú)協(xié)調(diào)。標(biāo)準(zhǔn)泵的沖洗裝置要求使用密封氣體,防止沖洗液體達(dá)到軸承或齒輪室。
螺桿真空泵維修它們符合指令94/9/EC類(lèi)別3G組IIB溫度等級(jí)T3X的防爆要求一般而言,泵的安全操作需要額外的措施和/或部件,如:?jiǎn)?dòng)和關(guān)閉程序、特殊的前級(jí)泵、回火防止器和壓力傳感器。整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和操作必須符合相應(yīng)的防爆法規(guī)。。
廈門(mén)等距螺桿真空泵價(jià)格大氣側(cè)的密封件包括徑向軸密封環(huán)標(biāo)準(zhǔn)泵的特點(diǎn)是其堅(jiān)固、緊湊的設(shè)計(jì)以及高壓縮比,這產(chǎn)生高抽速的泵組合,即使是使用小型前級(jí)泵;從而能夠提供短的抽空時(shí)間。垂直的流動(dòng)方向使該泵對(duì)灰塵和液體極不敏感。表4.19:OktaLine性能數(shù)據(jù)。
萊寶真空泵價(jià)格然而,它們將只實(shí)現(xiàn)通過(guò)工作液蒸氣壓確定的極限壓力如果使用15deg,C的水,液環(huán)真空泵預(yù)計(jì)的極限壓力約為20hPa,然后已經(jīng)在氣穴范圍內(nèi)工作。氣穴在接近泵極限壓力時(shí)發(fā)生。工作液在進(jìn)氣側(cè)蒸發(fā),且蒸汽氣泡突然在壓力側(cè)破滅。這會(huì)長(zhǎng)期破壞泵。通過(guò)供氣無(wú)氣穴操作的液環(huán)泵實(shí)現(xiàn)的極限壓力約為25至30hPa,羅茨泵和液環(huán)泵組合實(shí)現(xiàn)的極限壓力約為1hPa。在抽空對(duì)環(huán)境有害的物質(zhì)時(shí),液環(huán)真空泵不應(yīng)與淡水一起使用。在這種情況下,必須提供封閉的循環(huán)系統(tǒng)來(lái)推進(jìn)合適的工作液經(jīng)過(guò)冷卻了的熱交換器,以提取壓縮熱。使用氣體噴射裝置的液環(huán)真空泵羅茨真空泵、氣體噴射裝置和液環(huán)真空泵組合實(shí)現(xiàn)0.2hPa的極限壓力。如果需要實(shí)現(xiàn)較低的壓力,必須在上游連接附加的羅茨真空泵。。
這些旋轉(zhuǎn)葉片泵具有可靠的工作業(yè)績(jī),既可以作為單獨(dú)的泵,也可作為普發(fā)真空羅茨泵的前級(jí)泵極限壓力接近6middot,10-2hPa可以實(shí)現(xiàn)。這些泵是水冷式,對(duì)灰塵和污垢極不敏感。它們配備了油再生系統(tǒng)。冷凝物污染物和灰塵粒子可從工作液中分離,收集在蒸汽分離器中后被排出。可調(diào)節(jié)冷卻水控制器使UnoLinePlus泵可以保持所需的工作溫度。這些泵配備了氣鎮(zhèn),以進(jìn)行蒸汽排空。。
羅茨真空泵命名規(guī)則和基本參數(shù)(摘自ZB/T7674-95),本標(biāo)準(zhǔn)適用于抽速為30L/smdash,20000L/s,工作時(shí)必須有前級(jí)泵的單級(jí)雙葉羅茨真空泵1.羅茨泵型號(hào)表示方法說(shuō)明如下:標(biāo)記示例:(1)抽速為1200L/s的羅茨真空泵,標(biāo)記為:ZJ-1200。(2)抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵,標(biāo)記為:ZJP-300。2.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。。
M系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table4.19中顯示的所有應(yīng)用此外,這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用:例如,用于半導(dǎo)體行業(yè)中的CVD和PVD工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M系統(tǒng)可提供的大小范圍從250m3middot,h-1到6000m3middot,h-1。表4.19:OktaLine性能數(shù)據(jù)。
在情況下,在1000hPa這10-3hPa的整個(gè)壓力范圍內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)基本恒定的抽速,且各個(gè)泵級(jí)可按2:1至3:1的比率來(lái)選擇然而,要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),羅茨真空泵必須配備相應(yīng)強(qiáng)大的電機(jī),并且必須提供向大氣側(cè)的出口閥,而不是溢流閥。。
在氣鎮(zhèn)閥開(kāi)啟時(shí),羅茨真空泵站實(shí)現(xiàn)的極限壓力大約為10-2hPa使用這些類(lèi)型的泵站,可抽出水蒸氣以及很多溶劑蒸汽和氣體具有足夠高蒸氣壓且沒(méi)有化學(xué)分解泵油的其他蒸汽。其中的例子包括醇類(lèi)、鹵代烴類(lèi)以及光的正構(gòu)烷烴等。。