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產(chǎn)品型號(hào)

1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、采用高純氧化鋁保溫材料，保證了的溫度均勻性。

2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。

5、采用雙管真空密封法蘭，允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）。

6、冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

7、配有帶KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。

8、爐底部裝有滑軌，爐體可從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。為了獲得較快的加熱速度，可以先將爐體預(yù)熱，然后滑至放置樣品處；為了獲得較快的冷卻速度，可將爐體滑至另一端，同時(shí)將冷氣通入樣品所在處。

9、密封法蘭系統(tǒng)采用不銹鋼制作。

10、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208V-240V   50Hz/60Hz  2.5KW （20A保險(xiǎn)絲）

2、石英管：外管外徑Ø100mm，內(nèi)徑Ø96mm，長(zhǎng)1400mm

內(nèi)管外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø75mm，長(zhǎng)1400mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區(qū)域：440mm

5、恒溫區(qū)域：120mm（±1℃在400℃-1100℃）

6、工作溫度：1100℃，連續(xù)工作1000℃

7、升降溫速率：20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、質(zhì)子流量計(jì)：4路精密質(zhì)子流量計(jì)，數(shù)字顯示，氣體流量自動(dòng)控制

MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-200sccm，MFC4范圍0-500sccm

2、流量精度：0.2%

3、氣路：4路（每個(gè)氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制）

4、進(jìn)出氣口：1/4"卡套

5、混氣罐：1個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，移動(dòng)架600mm×600mm×597mm

重量：135kg

可選配件

1、分子泵

2、雙溫區(qū)管式爐

3、銅箔（生長(zhǎng)石墨烯150mm×150mm×25µm）