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產(chǎn)品型號

SKJ-50晶體生長爐

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、與同類相比屬于小型晶體生長爐，適合于大專院校、研究所使用。

2、電子稱在生長過程中可自動控制晶體的直徑。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：三相380V  25KW

2、感應(yīng)射頻：功率25KW，射頻0.2KHz-20KHz

3、真空腔體：Ø500mm×700mm

4、真空度：10^-3torr（機械泵），10^-5torr（擴散泵）

5、提拉行程：500mm

6、提拉速度：0.1mm/h-20mm/h

7、籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：0-40rpm

8、可熔融溫度：2100℃

9、控溫精度：<±0.2℃

10、冷卻水：所需水壓0.13MPa-0.18MPa，所需流量60L/min

11、移動速度：1mm/h-10mm/h可調(diào)

12、快速移動：手動

13、結(jié)晶轉(zhuǎn)速：1rpm-50rpm

14、真空系統(tǒng)：機械泵和擴散泵

15、極限真空度：10^-5torr

產(chǎn)品規(guī)格

1、爐體：880mm×1250mm×2850mm

2、控制柜：680mm×540mm×1700mm

3、中頻柜：1100mm×500mm×1500mm

4、總重：1500kg