ROC紫外線照度計VORCUV-M03A產(chǎn)品介紹
它是一種小巧輕便的便攜式設(shè)備,可以輕松管理曝光設(shè)備的照度和光強(qiáng)度。
可以容易地測量UV照度和光強(qiáng)度。對于光接收器,根據(jù)光源和使用的抗蝕劑(計劃使用)的靈敏度,為UV-25,35,42選擇一個。然而,UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42用于電子電路(印刷)基板的生產(chǎn)過程,UV-SD25,UV用于半導(dǎo)體和液晶基板的生產(chǎn)過程 - 建議選擇SD35和UV-SD42
測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。關(guān)于SD類型和SN類型型已被長期使用我們的曝光和照射設(shè)備等的客戶廣泛采用,以確程管理的連續(xù)性。SD型是已經(jīng)使用其他公司的發(fā)光計的客戶重視確保與半導(dǎo)體和液晶基板制造工藝領(lǐng)域的這些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性(我公司生產(chǎn)的曝光設(shè)備)但是,投影型曝光系統(tǒng)和液晶基板的周邊曝光系統(tǒng)采用SD型,建議使用新型照度計等的客戶使用。
關(guān)于SD類型和SN類型的指示值:為了確保舊過程數(shù)據(jù)的兼容性,SN類型表示SD類型的指示值(我們的測量組用作校準(zhǔn)輻射源的高壓UV燈的發(fā)射線在相同的測量條件下測量 調(diào)整顯示比顯示時顯示的照度值高39%:mW / cm 2顯示。
關(guān)于與第三方測光表的數(shù)據(jù)兼容性:與可見光發(fā)光計(測量LUX單元中家庭,辦公室,商店,博物館等的亮度的照度計)不同,適用于所有紫外線發(fā)光計的標(biāo)準(zhǔn)尚未準(zhǔn)備好(似乎在JIS上的工作是在非常有限的應(yīng)用中進(jìn)行的)。的公司的相對光譜靈敏度,對于由光源主要由365nm的發(fā)射線,開始與測量的峰值波長處測量的照度的目的進(jìn)行(波長相對光譜靈敏度特性是由1表示),短波長側(cè)(約300nm至310nm)和長波長側(cè)(約380nm至400nm)的上升,下降波長和其前后的曲線略有不同。另外,盡管接收器的光接收角特性(稱為COSθ特性)也在設(shè)計上努力使其更接近理想曲線,但實際上還沒有實現(xiàn)。
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