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本多HONDA晶圓清洗機石英振動式W-357-1MQG 晶片的小型化、損傷低的清洗通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗半導體晶片通過化學溶液從石英振動體向半導體晶片傳播超聲波振動，接觸部分的化學溶液振動并它的加速會清除表面的污垢
本多HONDA晶圓清洗機石英振動式W-357-1MQG
晶片的小型化、損傷低的清洗通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗半導體晶片 通過化學溶液從石英振動體向半導體晶片傳播超聲波振動，接觸部分的化學溶液振動并它的加速會清除表面的污垢。 實現對半導體晶片的損傷少的清潔清洗與化學品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進行清潔清洗。由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運行而不會發(fā)生頻率波動。此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
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