安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/m。為取得較快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。 可選擇單設(shè)定點(diǎn)或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高，處于國內(nèi)*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。
安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐適用范圍：可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下，對樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕
重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫
整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)
有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/p>
內(nèi)嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長
加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。
微電腦PID控制器，操作簡便
操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗(yàn)過程，真正實(shí)現(xiàn)自動控制和運(yùn)行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。
| 溫度 | 1200℃（溫度可達(dá)1700℃） |
| 溫區(qū)長度 | 440mm（可根據(jù)需求定制） |
| 恒溫區(qū) | 260mm |
| 爐管尺寸 | Φ60*1500mm |
| 溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
| 控溫精度 | ± 1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 |
| 加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
| 加熱元件 | 合金加熱絲 |
| 工作電壓 | AC 220V 單項(xiàng) 50 Hz |
| 功率 | 3KW |
| 凈重 | 80KG |
| 爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
| 法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好、可保證12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn) |
| 滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度：1200mm |
| 測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
| 爐管材質(zhì) | 可選氣煉石英爐管、剛玉爐管 |
| 氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
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