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廈門市盈鑫豐進出口有限公司供應(yīng)日本EBARA荏原干式真空泵 渦輪泵

EBARA干式真空泵

EBARA是“干式"真空泵設(shè)計和制造的 EB原干式真空泵具有許多產(chǎn)品 ，包括：

提高可靠性

減少潔凈室顆粒負荷

低噪聲

低振動

降低運營

與當(dāng)今市場上的其他干式真空泵相比，擁有

多樣化的產(chǎn)品線使原市成為真空減排技術(shù)和服務(wù)的行業(yè) 原的干式真空泵在LPCVD，PECVD，CVD和金屬蝕刻等 苛刻的應(yīng)用環(huán)境下仍然可以承受。 EBARA的干式泵也非常適合半導(dǎo)體行業(yè)中的許多應(yīng)用，以及任何不允許回油的應(yīng)用。

--風(fēng)冷-EV-PA型

EV-PA型超緊湊型風(fēng)冷干泵系列。無油， 且無年度維護要求，該泵是更換嘈雜和高維護渦旋和濕式油泵的理想解決方案。該泵具有較低的擁有 和較高的投資回報率（ROI）。重量僅為9千克，重量輕，非常適合小型臺式機或移動系統(tǒng)。設(shè)計用于所有輕型應(yīng)用：負載鎖，電子顯微鏡，質(zhì)譜和其他分析儀器。

--風(fēng)冷-EV-A型

EV-A型系列風(fēng)冷干式真空泵具有 的規(guī)格。非接觸式多級根部設(shè)計用于可靠，無顆粒的真空產(chǎn)生。EV-A干泵的典型應(yīng)用包括要求真空性能和正常運行時間的負載鎖，分析儀器和計量設(shè)備。

--ESA 200-500型

ESA系列涵蓋了從88到1765 CFM的 抽速范圍。ESA泵的設(shè)計和制造是當(dāng)今市場上擁有 的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一種固態(tài)鑄造材料，以其 的 性而

--EV-M型

EV-M干式真空泵系列專為苛刻的過程應(yīng)用而設(shè)計，具有 的溫度控制和按需轉(zhuǎn)矩運行能力，泵速從2,000 Lit / min到80,000 Lit / min。EV-M系列能夠處理苛刻和輕載的應(yīng)用。該系列旨在比以前的泵消耗更少的功率。根部轉(zhuǎn)子裝置與高扭矩電動機和逆變器的結(jié)合使EV-M系列具有更高的能效，是苛刻工藝應(yīng)用的理想解決方案。

--EST型

EST系列涵蓋了從88到1765 CFM的 抽速范圍。EST泵的設(shè)計和制造是當(dāng)今市場上擁有 的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一種固態(tài)鑄造材料，以其 的 性而

--EV-S型

EV-S系列泵是節(jié)能型真空泵，適用于清潔至輕載過程。抽速范圍為58至710 CFM，極限壓力低至3 mTorr。

--ESA 25-100型

ESA系列涵蓋了從88到1765 CFM的 抽速范圍。ESA泵的設(shè)計和制造是當(dāng)今市場上擁有 的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一種固態(tài)鑄造材料，以其 的 性而

--ESR型

ESR系列（節(jié)能型羅茨泵）是多級干式真空泵，設(shè)計用于從清潔到中負荷工藝的各種應(yīng)用。ESR系列的泵速范圍從35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。

--風(fēng)冷-EV-PA型

EV-PA型超緊湊型風(fēng)冷干泵系列。無油， 且無年度維護要求，該泵是更換嘈雜和高維護渦旋和濕式油泵的理想解決方案。該泵具有較低的擁有 和較高的投資回報率（ROI）。重量僅為9千克，重量輕，非常適合小型臺式機或移動系統(tǒng)。設(shè)計用于所有輕型應(yīng)用：負載鎖，電子顯微鏡，質(zhì)譜和其他分析儀器。