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廈門市盈鑫豐進出口有限公司供應(yīng)日本EBARA荏原干式真空泵 渦輪泵

EBARA干式真空泵

EBARA是“干式"真空泵設(shè)計和制造的 EB原干式真空泵具有許多產(chǎn)品 ，包括：

提高可靠性

減少潔凈室顆粒負荷

低噪聲

低振動

降低運營

與當(dāng)今市場上的其他干式真空泵相比，擁有

多樣化的產(chǎn)品線使原市成為真空減排技術(shù)和服務(wù)的行業(yè) 原的干式真空泵在LPCVD，PECVD，CVD和金屬蝕刻等 苛刻的應(yīng)用環(huán)境下仍然可以承受。 EBARA的干式泵也非常適合半導(dǎo)體行業(yè)中的許多應(yīng)用，以及任何不允許回油的應(yīng)用。

--EV-A型干式真空泵

EV-A型風(fēng)冷干式真空泵具有 的規(guī)格。 非接觸式，多級根部設(shè)計用于可靠，無顆粒的真空產(chǎn)生。 EV-A干泵的典型應(yīng)用包括要求真空性能和運行時間的負載鎖，分析儀器和計量設(shè)備。

EV-A干式真空泵是理想的替代品

更換濕泵：無需再頻繁更換機油或進行昂貴的維修

更換渦旋泵：消除了頂部密封和軸承更換的麻煩，基本壓力漂移

特點和優(yōu)點小型空冷泵無接觸設(shè)計在大氣中泵送速度高水蒸汽泵送任何空冷干泵的UL, CE，和NRTL額定的單和三相版本可用應(yīng)用負載鎖分析儀器(LCMS, ICPMS)電子顯微鏡PVD系統(tǒng)氧等離子系統(tǒng)

--風(fēng)冷-EV-PA型

EV-PA型超緊湊型風(fēng)冷干泵系列。無油， 且無年度維護要求，該泵是更換嘈雜和高維護渦旋和濕式油泵的理想解決方案。該泵具有較低的擁有 和較高的投資回報率（ROI）。重量僅為9千克，重量輕，非常適合小型臺式機或移動系統(tǒng)。設(shè)計用于所有輕型應(yīng)用：負載鎖，電子顯微鏡，質(zhì)譜和其他分析儀器。