產(chǎn)品簡(jiǎn)介：全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)作為一種小型橢偏集成機(jī)臺(tái)，通過(guò)整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)不同橢偏測(cè)量模塊在線/離線式整體橢偏測(cè)量解決方案。全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測(cè)量。
| 產(chǎn)品型號(hào) | 全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái) | ||
| 主要特點(diǎn) | 1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測(cè)量技術(shù) 2、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化 | ||
| 技術(shù)參數(shù) | 自動(dòng)化程度 | 可變/固定角 | |
| 應(yīng)用定位 | 高階高精度型 | 高精度型 | |
| 單次測(cè)量時(shí)間 | 0.5-5s | ||
| 分析光譜 | 380-1000nm（支持?jǐn)U展至193-2500nm） | ||
| Mapping行程 | 支持100x100mm行程擴(kuò)展 | ||
| 支持樣件尺寸 | 支持200mm樣件 | ||
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