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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭(自旋轉(zhuǎn)靶頭)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號:
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:真空泵
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2024-08-09 10:42:49
  • 瀏覽次數(shù):21

沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

其他

  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:1107條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2015-09-27
  • 最近登錄:2024-08-06
  • 聯(lián)系人:
產(chǎn)品簡介

詳情介紹

產(chǎn)品簡介:SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶(自旋轉(zhuǎn)靶頭)適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性??膳cDC或RF電源配合使用。

 

產(chǎn)品型號

SKCC-ZZB-X(高真空磁控濺射自旋轉(zhuǎn)靶頭)

產(chǎn)品規(guī)格

2寸,SKCC-ZZB-2

3寸,SKCC-ZZB-3

4寸,SKCC-ZZB-4

5寸,SKCC-ZZB-5

6寸,SKCC-ZZB-6

7寸,SKCC-ZZB-7

主要特點(diǎn)

1、轉(zhuǎn)靶帶擋板(可電動控制,可手動控制);

2、采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體,以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布;

3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào);

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DCRF電源相匹配。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作。

6、靶材更換較為簡單,無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC2、射頻RF

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