亚洲精品国产美女久久久,一个人看的视频www在线观看,中文无码久久精品,真人做人试看120分钟,亚洲国产精品久久久天堂

產(chǎn)品名稱

單室等離子增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）

安裝條件

1、環(huán)境溫度：10℃～35℃

2、相對濕度：不大于75%

3、供電電源：220V、單相、50±0.5 Hz

4、設(shè)備功率：小于4KW   

5、供水：水壓0.2MPa～0.4MPa,水溫15℃～25℃，

6、設(shè)備周圍環(huán)境整潔，空氣清潔，不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?；驓怏w存在。

技術(shù)參數(shù)

1、系統(tǒng)采用單室筒式結(jié)構(gòu)，手動前開門；
2、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造（304），氬弧焊接，表面采用噴玻璃丸+電化學(xué)拋光鈍化處理配有可視觀察窗口，并帶擋板，真空室尺寸為Φ300mm×300mm；

3、極限真空度：8.0x10^-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后，采用600L/S分子泵抽氣，前級采用4L/S)；系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10^-7Pa.l/S； 系統(tǒng)從大氣開始抽氣到8.0x10^-4 Pa，40分鐘可達(dá)到； 停泵關(guān)機12小時后真空度：≤5 Pa；
4、采用樣品在下，噴淋頭在上的電容式耦合方式進氣；
5、樣品加熱溫度：500℃，溫控精度：±1°C，采用溫控表進行控溫；
6、噴淋頭尺寸：Φ90mm，噴淋頭與樣品之間電極間距10-65mm在線連續(xù)可調(diào)（可根據(jù)工藝調(diào)整），并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示；
7.、沉積工作真空：13.3-133Pa（可根據(jù)工藝調(diào)整）；
8、射頻電源：頻率 13.56MHz，功率300W全自動匹配；
9、氣體種類（用戶自備），標(biāo)準(zhǔn)配置為2路100sccm質(zhì)量控制器，用戶可根據(jù)工藝更改氣路配置；

10、氣體過濾設(shè)備用戶自備；

11、系統(tǒng)尾氣處理系統(tǒng)(用戶自備)。