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產(chǎn)品型號(hào)

開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。

3、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、設(shè)有超溫及斷偶報(bào)警功能。

5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V   50/60Hz  2.5KW

2、石英管：外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø75mm，長(zhǎng)1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區(qū)域：440mm

5、恒溫區(qū)域：150mm

6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃

7、升降溫速率：20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：5.5×10^-3torr（機(jī)械泵），10^-4torr（分子泵）

10、泄漏率：<5mtorr/min

11、浮子流量計(jì)：3個(gè)；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min

12、壓力表：4個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm；重量：60kg