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產(chǎn)品型號

高真空PECVD系統(tǒng)

主要特點

1、系統(tǒng)采用單室方箱式結(jié)構(gòu)，手動前開門；

2、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造（304），氬弧焊接，表面采用噴玻璃丸+電化學(xué)拋光鈍化處理配有可視觀察窗口，并帶擋板，真空尺寸為300mm×300×280mm；

3、采用樣品在下，噴淋頭在上噴淋式進(jìn)氣方式

4、氣路設(shè)有勻氣系統(tǒng)，真空室內(nèi)設(shè)有保證抽氣均勻性抽氣裝置

5、系統(tǒng)設(shè)有硅烷尾氣處理系統(tǒng)(高溫裂解方式)。

技術(shù)參數(shù)

1、停泵關(guān)機(jī)12小時后真空度：≤5 Pa；

2、樣品加熱加熱溫度：300℃，溫控精度：±1°C，采用日本進(jìn)口控溫表進(jìn)行控溫；

3、噴淋頭尺寸：200×200mm，噴淋頭與樣品之間電極間距20-80mm連續(xù)可調(diào)，并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示，采用金屬焊接波紋管+進(jìn)口直線導(dǎo)軌+進(jìn)口絲杠+進(jìn)口光軸方式，升降平穩(wěn)、無抖動，保證了電極與樣品的平行度；

4、 沉積工作真空：13-1300Pa；

5、射頻電源：頻率 13.56MHz，功率500W，全自動匹配；

6、SiH4、NH3、N2O、N2、H2、Ar 6路氣體，共計使用6個質(zhì)量流量控制器控制進(jìn)氣。

標(biāo)準(zhǔn)配件

可選配件