廣泛應(yīng)用多種微納光刻加工領(lǐng)域的研究與生產(chǎn)，光刻最小線寬600nm，套刻對準精度500 nm器件直寫光刻功能。適用于小批量、多品種的研發(fā)單位與實驗室使用。
LDI-無掩模激光成象光刻機
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廣泛應(yīng)用多種微納光刻加工領(lǐng)域的研究與生產(chǎn)，光刻最小線寬600nm，套刻對準精度500nm器件直寫光刻功能
廣泛應(yīng)用多種微納光刻加工領(lǐng)域的研究與生產(chǎn)，光刻最小線寬600nm，套刻對準精度500 nm器件直寫光刻功能。適用于小批量、多品種的研發(fā)單位與實驗室使用。
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